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IntelliSuite Ver.9(64ビット)英語版

【2026,3月】 新しいIntelliSense v9の特徴は、MEMS開発の設計者と研究者が直面するチャレンジを把握するためのプロセスシミュレーションとマルチフィジックスシミュレーション機能への最先端機能の導入です。さらに、作業を効率化するため既存アルゴリズムのリファイン/最適化します。MEMS開発の設計者と研究者が直面するチャレンジのためのプロセスシミュレーションとマルチフィジックスシミュレーション機能への最先端機能の導入です。
 MEMS製品開発を推し進めるシミュレーションは、デザインのボトルネックに関連する多
製品 IntelliSuite バージョン 9 (64ビット)
言語 英語版 分類 解析ソフト
対応OS:WINDOWS 11(64ビット),WINDOWS 10(64ビット)

IntelliSuiteは、半導体素子の製造工程を利用したマイクロマシン(MEMS)の製造工程の検討から、デバイスの性能評価まで一貫して検討することを目的とした、統合型の設計・解析ソフトウェアです。

IntelliSuiteは以下の点でMEMS専用として特化しています。
ファブリケーションシミュレーションの装備
プロセスによる薄膜物性の違いを考慮
異方性Wet,Dryエッチングシミュレーターを装備
MEMSデバイス専用モデリングツール
マスクファイルの作成/インポート/エクスポート
MEMS専用解析ソルバー
MEMSパッケージ解析
MEMS動的システムモデル抽出
MEMS用システム解析
MEMS構造パラメータシステム解析
MEMSコストシミュレーション